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          我司為半導體客戶定制的靜電卡盤硅膠加熱產品
          
            
          更新時間：2025-12-27      瀏覽次數：101
          
          
          
          
        
          
        
           
          2025年我司成功為國內半導體Feb工廠，提供了高性價比且品質優異的ESC硅膠加熱裝置。
          在此向大家介紹一下在半導體制程中的刻蝕（ICP&CCP），化學氣相沉淀等工藝中使用的靜電卡盤。該產品是一種利用靜電吸附原理固定晶圓的裝置，該產品廣泛應用于半導體制造、平板顯示、LED 等領域。其次，我司定制的靜電卡盤硅膠加熱的本體采用高性能陶瓷材料，具有優異的導熱性、絕緣性和耐腐蝕性。我們提供的日本制硅膠加熱膜可以在很短的時間內實現卡盤的快速均勻升溫，對客戶的工藝生產起到了很好的促進作用。目前，我司已經中標了幾個大型的國內半導體晶圓加熱項目，并且實現了大批量靜電卡盤ESC硅膠加熱產品的定制化供應鏈管理。
          納加霍里科技（深圳）有限公司致力于為客戶提供優質的半導體制程產品和工藝，包括封裝的膠水和金屬線，膜厚測試儀器等產品和技術。
          我司為半導體客戶定制的靜電卡盤硅膠加熱產品




           
          
        
      
          
    
          
  
          

          


          
  
          
    
    
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